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| 年纪（mm) | 量测面临基面维持度 （um） | 精确测量面平米度或条直线度 （um） | 基面水平线度或虚线度 （um） | |||
| 精密度分类 | ||||||
| 00 | 0 | 00 | 0 | 00 | 0 | |
| 100×63 | 2 | 4 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 160×100 | 2 | 4 | 1 | 2 | 1 | 1 |
| 250×160 | 2.5 | 5 | 1 | 2 | 1 | 2 |
| 400×250 | 3.5 | 7 | 1 | 2.5 | 1 | 2 |
| 630×400 | 4.5 | 9 | 1.5 | 3 | 1 | 2.5 |
| 800×500 | 5 | 10 | 2 | 4 | 1.2 | 3 |
| 1000×630 | 6 | 12 | 2.5 | 5 | 1.5 | 3 |
冀公网IP安备 1309810200090-6